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聚焦離子束掃描電鏡系統(tǒng)用于以 FIB 為中心的納米加工的 FIB-SEM VELION 是一種用于納米科學(xué)與工程的新型 FIB-SEM 儀器概念。FIB 納米加工已成為制造三維和高分辨率納米結(jié)構(gòu)（例如等離子體裝置、納米流體、局部注入和功能化）的標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)
